普賽斯SPA6100半導體參數(shù)分析儀

普賽斯SPA6100半導體參數(shù)分析儀

SPA6100半導體參數(shù)分析儀具有高精度、寬測量范圍、 快速靈活、兼容性強等優(yōu)勢，產(chǎn)品可以同時支持DC電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測試。

        基于模塊化的結構設計,可以幫助用戶根據(jù)測試需要,靈活選配測量單元進行升級。產(chǎn)品支持最高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測量,同時檢測10kHz至1MHz范圍內(nèi)的多頻AC電容測量。

        搭載專用半導體參數(shù)測試軟件,支持交互式手動操作或結合探針臺的自動操作,能夠從測量設置、執(zhí)行、結果分析到數(shù)據(jù)管理的整個過程，實現(xiàn)高效和可重復的器件表征；也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用，滿足高低溫測試需求。

產(chǎn)品特點

●    30μV-1200V，1pA-100A 寬量程測試能力

●     測量精度高，全量程下可達0.03%

●     內(nèi)置標準器件測試程序，直接調用測試簡便 

●     自動實時參數(shù)提取、 數(shù)據(jù)繪圖、分析函數(shù)

●     在CV和IV測量之間快速切換而無需重新布線

●     提供靈活的夾具定制方案，兼容性強

●     免費提供上位機軟件及SCPI指令集

圖形化軟件界面

配合普賽斯自主開發(fā)的專業(yè)測試軟件，SPA6100可輕松實現(xiàn)半導體材料，器件的參數(shù)測試。系統(tǒng)內(nèi)置常用器件模板，如二極管， 三極管，MOSFET。測試過程中，可直接調用，只需簡單設置測試參數(shù)即可。軟件支持測試數(shù)據(jù)顯示，以及曲線繪制。測試完畢 后，可將數(shù)據(jù)以及曲線導出保存。

靈活可定制化的夾具方案

針對市面上不同封裝類型的半導體器件產(chǎn)品，普賽斯提供整套夾具解決方案。夾具具有低阻抗、安裝簡單、種類豐富等特點，可 用于二極管、三極管、場效應晶體管、IGBT、SiC MOS、GaN等單管，模組類產(chǎn)品的測試；也可與探針臺連接，實現(xiàn)晶圓級芯片 測試。

不同封裝類型的夾具

普賽斯SPA6100半導體參數(shù)分析儀產(chǎn)品選型

低壓直流I-V源測量單元

低壓脈沖I-V源測量單元

高壓I-V源測量單元

高流I-V源測量單元

電容測量單元