等離子體光譜在線監(jiān)控系統(tǒng)

等離子體光譜在線監(jiān)控系統(tǒng)

等離子體光譜分析是應(yīng)用廣泛的一種方法。利用物理學(xué)和化學(xué)實(shí)驗(yàn)所積累的物質(zhì)發(fā)光光譜數(shù)據(jù)，進(jìn)行理論分析，能確定識(shí)別等離子體中發(fā)光物種(特征光譜)、計(jì)算電子溫度和激發(fā)溫度、測(cè)量某些物種的密度、電離度、電子密度、電子能量分布等性質(zhì)。

等離子輻射光譜過程中都伴隨著電子發(fā)射、電離，即等離子體的光和熱輻射等過程，以激光焊接為例對(duì)分析焊接技術(shù)的物理狀態(tài)和過程，探究焊接機(jī)理、改進(jìn)工藝方法和改善焊接質(zhì)量都具有非常重要的意義。等離子體光譜的優(yōu)點(diǎn)：1、無介入性，使用間接測(cè)量方式，對(duì)焊接電弧沒有擾2、信息量豐富，特征譜線的強(qiáng)度、寬度及形態(tài)可以反映出電弧電子密度、溫度、電導(dǎo)率等信息3、靈敏度高、響應(yīng)速度快、抗干擾能力強(qiáng) 。

應(yīng)用：

l                      受控?zé)岷司圩儯ㄍ锌R克）

l                      空間科學(xué)（等離子體推進(jìn)技術(shù)）

l                      生化處理（等離子體滅菌）

l                      微電子與信息產(chǎn)業(yè)（半導(dǎo)體材料蝕刻）

l                      材料合成與處理（等離子體沉積和蝕刻）

l                      國防（等離子體隱身技術(shù)）

l                      高新技術(shù)應(yīng)用（LIBS技術(shù)）

特點(diǎn)：

l                      實(shí)時(shí)測(cè)量等離子體光譜，并計(jì)算顯示電子溫度和電子密度； 

l                      采用四維混合調(diào)節(jié)位移臺(tái)，實(shí)現(xiàn)空間點(diǎn)位等離子體測(cè)量；

l                      采用多通道光譜儀，實(shí)現(xiàn)高分辨率、寬波長范圍的光譜測(cè)量；

l                      軟件實(shí)現(xiàn)光譜儀與焊槍頭的聯(lián)動(dòng)控制；

l                      集成元素?cái)?shù)據(jù)庫。

等離子體光譜在線監(jiān)控系統(tǒng)主要技術(shù)指標(biāo)：